知识工程赋能下真空机组智能设计系统的构建与应用研究.docx

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2025-05-12 发布于上海
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知识工程赋能下真空机组智能设计系统的构建与应用研究

一、引言

1.1研究背景

在现代工业生产和科学研究的众多领域中，真空技术扮演着至关重要的角色，而真空机组作为实现真空环境的核心设备，其应用范围极为广泛。在半导体制造领域，从芯片的设计到制造的每一个环节，都离不开真空机组。在光刻工艺中，需要极高的真空度来确保光线的稳定传输和精确聚焦，以实现芯片上微小电路图案的准确刻画。在芯片封装时，真空环境可有效防止杂质和气体的混入，提高封装的可靠性和稳定性，进而提升芯片的性能和良品率。在食品包装行业，真空机组的作用同样不可或缺。通过抽取包装内的空气，形成低氧环境，能够有效抑制微生物的生长繁殖，延长食品的保