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微纳光电成像测试系统

DSR500-LBIC

DSR500-LBIC

微纳光电

成像测试系统

朱秦

2022.2上海

CONTENTS

02

01

系统特点

1、系统特点及优势|2、实测案例|3、基本参数及应用方向

系统结构及功能介绍

1、测试原理|2、系统组成及结构

系统结构及功能介绍

1、测试原理

2、系统组成及结构

/01

测试原理

4

什么是

LBIC？

光束诱导电流

LBIC（Light-BeamInducedCurrent）

透过

LBIC

入射光

发射

光子

电子

voltage

系统组成与结构

5

激光源

显微成像系统

DSR500-LBIC

系统组成与结构

6

DSR500-LBIC微纳光测试系统

光电

器件

短路电流分布

表面缺陷

反射率

整体系统包含配置

7

1.

光源

激光器或

连续光源

2.

显微镜及

扫描振镜

3.

探针台

4.

数字源表

5.

专用系统

软件及

计算机

系统特点

系统特点及优势

实测案例

基本参数及应用方向

/02

系统特点

9

LBIC

包含激光源

成像CCD

激光器1

激光器2

照明光源

振镜组

控制器

显微系统

电流源表

系统特点

10

LBIC

包含激光源

光斑移动扫描

振镜配合显微镜模块

低温测试

高压测试

样品在静止状态下扫描

消除电移台引起的震动

采用振镜结构优势

结构优势

11

入射到样品不同位置的光斑模式不会发生变化！

灵活的探针台

结构优势

12

探针台模块

样品二维可调，

抬起探针后实

现快速换样品

整体二维可调，用于扎探针和调节样品和光斑的相对位置

软件界面介绍

13

LBIC

包含激光源

控制光斑位置移动

选取测试区域

实现监控开关

IV曲线参数设置

实时显示测试数据和测试点位置

显示测试进度和测试用时间

软件特点

14

软件可视化

可任意选取

扫描范围

阈值处理

1

2

3

局部放大

4

等高线显示

5

单点测试数据显示

6

导出txtexcel数据等功能

实测案例

15

样品扫描区域的CCD监控图

样品mapping数据处理等高线图以及三维图

硅基探测器：有效面积120X120um。

测试条件：激光波长：532nm；功率：1mW；物镜：20X；

实测案例

16

样品监控区域成像图

样品mapping数据处理等高线图以及三维图

纳米材料-WSe2：有效面积25X10um

测试条件：激光波长：532nm；功率：5mW；物镜：20X；

17

应用方向

单晶硅、多晶硅、非晶硅、

有机半导体、染料敏化等

各类太阳能电池研究

二维材料等

GaN，ZnO等光电器件

DSR500-LBIC

规格参数

18

标配532nm激光器，能量稳定性1%@4小时

可选配第二路激光器用于光电流测试

405nm或者635nm可选

能量稳定性：小于1%@2个小时

功率：10mW和30mW（可选），另有其他波长可选

光源

数据采集

探针台模块

显微镜模块

可拓展

光谱

响应度

测试

反射式/透射式LED照明

物镜：标配（20X，WD=7.5mm）超长工作距离

最大扫描范围：260x200μm@20x物镜

位置重复性：小于1um

最小扫描步长：0.2um

步长可选范围：0.2-30um

激光光斑：直径2um@20X物镜

45X物镜50X物镜光斑直径实测后给出，包括对应最大扫描范围

电流源表：Keithley2450

测量范围：1nA–1A，暗噪声：50pA，分辨率：20fA，

准确度：0.03%

直径65mm真空吸附卡盘

探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合

样品位置单独二维移动，方便同类样品更换

样品位置移动行程25mm，分辨率5um

探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm

探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选

光谱范围200-1100nm，可以扩展到2500nm

光谱响应度曲线

量子效率曲线

偏压设置功能

THANKS

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