电子与通信技术《集成电路工艺原理试题预测》考试题_0.docVIP

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  • 2025-05-13 发布于北京
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电子与通信技术《集成电路工艺原理试题预测》考试题_0.doc

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电子与通信技术《集成电路工艺原理试题预测》考试题

姓名:_____________年级:____________学号:______________

题型

选择题

填空题

解答题

判断题

计算题

附加题

总分

得分

评卷人

得分

l9、判断题:冶金级硅的纯度为98%。

10、填空题:在外延工艺中,如果膜和衬底材料(),例如硅衬底上长硅膜,这样的膜生长称为();反之,膜和衬底材料不一致的情况,例如硅衬底上长氧化铝,则称为()。

11、问答题:简述两步扩散的含义与目的?

12、判断题:离子注入是一个物理过程,不发

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