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半导体设备（光刻机、刻蚀机等）项目策划书（仅供参考）.docx

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    半导体设备（光刻机、刻蚀机等）项目

    策划书

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、环境保护原则 2

    二、项目基本情况 5

    三、建设单位简介 5

    四、项目提出的理由 6

    五、产品方案 10

    六、工艺流程可行性 10

    七、项目选址 11

    八、建筑方案 11

    九、环境保护 12

    十、清洁生产 12

    十一、节能评估 12

    十二、绿色制造 13

    十三、投资方案 13

    十四、经济效益 14

    环境保护原则

    在进行半导体设备（光刻机、刻

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