半导体生产与洁净度.pptxVIP

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半导体生产与洁净度;半导体特性决定其制造过程必须有;半导体器件生产环境要求很严,要;浮游粒子洁净度的检测(颗粒测试;洁净度的理解洁净度指洁净空气中;洁净度洁净室达到洁净度要求的必;100万级可选用高中效过滤器;;洁净度洁净室达到洁净度要求的必;水平单向流:只在第一工作区达到;0102送风量或风速足够的通;洁净度洁净室达到洁净度要求的必;洁净度洁净室达到洁净度要求的必;洁净度洁净室达到洁净度要求的必;总结设施方面需要保证的必要条件;进入车间的必要条件(我们人员需;进入车间的必要条件(我们人员需;进入车间的必要条件(我们人员需;二、工艺过程中的洁净工艺过程中;进出洁净区的管理规定01净化区;STEP1STEP2STEP3;*QA

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