基于齿面干涉图质量特征的光路误差分析与校正.pdf

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摘要

摘要

斜齿轮作为重大装备的核心基础零部件,其齿面微米级的形状误差对其传动系统

的性能和寿命有着重要的影响。目前齿轮测量机多采用接触式逐点测量的方法来测量

齿面形状误差,其测量效率低,容易损伤被测面,且测量精度也很难再有突破性的提

高。激光干涉法具有理论精度高、无损伤等优点,是齿轮齿面形状误差测量的一个发

展方向。记录着齿面形状信息的干涉图是测量数据的唯一来源,其质量优劣直接制约

着测量的精度。本研究将基于干涉图

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