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基于GeSbTe的双参数测量光纤SPR传感器研究

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摘要

表面等离子体共振技术（SurfacePlasmonResonance,SPR）不仅对于提升传感器灵

敏度有极大的帮助，还具有免标记、实时性、稳定性强等优点。在生物化学领域中，待

检测分子通常需要在极低的浓度下检测，设计更高精度的传感器至关重要。随着航空航

天、生化和海洋探测等领域发展，各领域对传感器小型化和集成化需求不断增加，因此

开发高精度、低成本、集成度高的传感器具有重要意义。光纤作为光的载体，可以在极

小的尺寸下将光束缚在光纤内并稳定传播。光纤SPR传感器具备电绝缘、抗电磁干扰、

测量精度高、体积小、长距离分布式监控等优点。本文以SPR原理为基础，首先提出了

一种基于GeSbTe和环己烷的光纤SPR温度传感器。对该温度传感器进行改进，最终

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设计并实现了一种基于GeSbTe和聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)的双

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参数测量光纤SPR传感器，用于检测环境温度和折射率的变化。不仅提升了灵敏度，还

避免了两通道波段串扰。通过实验验证了该方案的可行性。本文创新性研究成果如下：

首先设计并实现了一种基于GeSbTe的光纤SPR温度传感器。通过在塑料包层石

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英光纤纤芯表面分别镀制金膜和GeSbTe膜，然后将光纤封装在热敏材料环己烷中，

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设计了具有高灵敏度的温度传感器。由于GeSbTe具有较高的介电常数，当GeSbTe

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沉积在金膜表面时，共振波长红移至红外波段，随着共振波长的增加，倏逝波的穿透深

度增加，传感器的灵敏度显著提升。此外，对于SPR传感器，当光纤处于更高折射率的

环境中时，其灵敏度进一步提升。在常温下，热敏材料环己烷的折射率达到1.422，因

此，将光纤封装至环己烷中可实现高灵敏度温度探测。实验结果表明，当温度探测范围

为5~80°C时，平均灵敏度为14.7nm/°C，在5°C时灵敏度达到25.7nm/°C。

对以上温度传感器结构进行改进，设计并实现了一种级联式双通道光纤SPR传感

器，用于同时测量温度和折射率。折射率传感通道的膜结构为单层金膜，而温度传感通

道的膜结构为金-GeSbTe-PDMS，通过将GeSbTe沉积在金膜表面使传感波段红移，

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避免了两通道波段串扰。测得该传感器折射率和温度灵敏度分别为2781nm/RIU和5.88

nm/°C。为了验证该传感器具有较高的测量精度，对无水乙醇的热光系数进行了测算。

与标准值相比，其测量值误差小于1.28%。该传感器测量精度高、尺寸小、稳定性好，

在生物化学、航空航天、海洋探测等领域具有潜在的应用价值。

关键词：表面等离子体共振；GeSbTe；光纤传感器；温度折射率双参数测量

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基于GeSbTe的双参数测量光纤SPR传感器研究

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ABSTRACT

Surfaceplasmonresonance(SPR)technologyhastheadvantagesofnomarking,realtime

andstrongstability.Ithelpsgrea