T_NXCL 015—2022_硅部件用柱状多晶硅.pdfVIP

ICS29.045

CCSH82

NXCL

宁夏材料研究学会团体标准

T/NXCL015—2022

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硅部件用柱状多晶硅

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Columnarpolysiliconforsiliconparts

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2022-12-2发布2022-12-2实施

宁夏材料研究学会  发布

T/NXCL015—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

台

起草。

本文件由宁夏材料研究学会提出。

本文件由宁夏材料研究学会归口。

本文件起草单位：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、北方民

平

族大学、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏职业技术学院。

本文件主要起草人：李长苏、顾燕滨、盛旺、丁亚国、武文元、李玲玲、熊欢、吴彦飞、杨文平、

刘建斌、杨少林、范占军、马江、杜朋轩、姜永庆、谢君彦。

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I

T/NXCL015—2022

硅部件用柱状多晶硅

1范围台

本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存和订货单（或合同）内容等方面的内容。

本文件柱状多晶硅锭适用于刻蚀机中的硅部件产品。

2规范性引用文件平

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。