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中国电子级气体输送系统行业市
场占有率及投资前景预测分析报
告
博研咨询市场调研在线网
北京博研智尚信息咨询有限公司中国电子级气体输送系统行业市场占有率及投资前景预测分析报告
中国电子级气体输送系统行业市场占有率及投资前景预
测分析报告
正文目录
第一章中国电子级气体输送系统行业定义3
1.1电子级气体输送系统的定义和特性3
第二章中国电子级气体输送系统行业综述4
2.1电子级气体输送系统行业规模和发展历程4
2.2电子级气体输送系统市场特点和竞争格局6
第三章中国电子级气体输送系统行业产业链分析8
3.1上游原材料供应商8
3.2中游生产加工环节9
3.3下游应用领域11
第四章中国电子级气体输送系统行业发展现状13
4.1中国电子级气体输送系统行业产能和产量情况13
4.2中国电子级气体输送系统行业市场需求和价格走势15
第五章中国电子级气体输送系统行业重点企业分析16
5.1企业规模和地位16
5.2产品质量和技术创新能力19
第六章中国电子级气体输送系统行业替代风险分析21
6.1中国电子级气体输送系统行业替代品的特点和市场占有情况21
6.2中国电子级气体输送系统行业面临的替代风险和挑战23
第七章中国电子级气体输送系统行业发展趋势分析25
7.1中国电子级气体输送系统行业技术升级和创新趋势25
7.2中国电子级气体输送系统行业市场需求和应用领域拓展27
第八章中国电子级气体输送系统行业市场投资前景预测分析29
第九章中国电子级气体输送系统行业发展建议31
9.1加强产品质量和品牌建设31
9.2加大技术研发和创新投入32
第十章结论34
10.1总结报告内容,提出未来发展建议34
第2页/共37页
北京博研智尚信息咨询有限公司中国电子级气体输送系统行业市场占有率及投资前景预测分析报告
第一章中国电子级气体输送系统行业定义
1.1电子级气体输送系统的定义和特性
电子级气体输送系统(ElectronicGasDeliverySystem,EGDS)是指专为半
导体制造、平板显示器生产以及其他高科技产业设计的一套精密气体传输设备。这
类系统旨在确保高纯度气体从气源安全、稳定且无污染地输送到工艺过程中所需的
各个点位。电子级气体输送系统不仅要求极高的气体纯度,通常达到99.999%以上,
还必须具备高度的可靠性和安全性,以满足半导体制造等对环境控制极为严格的行
业需求。
系统组成
电子级气体输送系统主要由以下几个部分构成:
1.气源:包括高压气瓶、液化气体储罐或现场制气装置,用于提供所需的各
种高纯度气体。
2.气体净化单元:通过过滤器、吸附剂等手段去除气体中的杂质,如水分、
氧气、颗粒物等,确保气体纯度符合工艺要求。
3.气体输送管道:采用不锈钢或特氟龙等材料制成,具有良好的耐腐蚀性和
低渗透性,以防止气体在输送过程中受到污染。
4.阀门和接头:使用高纯度材料制成,确保在开关操作时不会引入杂质。
5.流量控制装置:如质量流量控制器(MFC),用于精确控制气体流量,确保
工艺过程的稳定性和重复性。
6.压力调节器:用于维持系统内的恒定压力,确保气体输送的平稳性。
7.监测和控制系统:包括各种传感器和自动化控制系统,实时监控气体的压
力、温度、流量等参数,并根据需要进行调整,确保系统的正常运行。
特性
1.高纯度:电子级气体输送系统的核心要求之一是气体的高纯度。在半导体
制造过程中,即使是微量的杂质也可能导致产品缺陷,因此系统必须能够提供极高
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