T/CEMIA 023-2021半导体单晶硅生长用石英坩埚.pdf

ICS29.045

CCSL90

团体标准

/—

TCEMIA0232021

半导体单晶硅生长用石英坩埚

uartzcrucibleforsemiconductormonosiliconrowth

Qg

2021-07-15发布2021-12-25实施

中国电子材料行业协会发布

/—

TCEMIA0232021

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口。

:、、

本文件主要起草单位内蒙古欧晶科技股份有限公司锦州佑鑫石英科技有限公司江西中昱新材

料科技有限公司。

:、、

本文件参与起草单位宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司常州裕能石英科技有限公司江阴龙源

、、、

石英制品有限公司江苏中天科技股份有限公司北京雅博石光照明器材有限公司隆基绿能科技股份

、、、

有限公司廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司湖南黎辉新材料科技有限公司中国建筑材料科学研究

总院有限公司。

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人何文兵陈曼苏光都杜兴林李宗辉王文庆朱旦李晓航朱剑徐晓军

、、、、、、、、、。

王君伟王慧韩东李秀英钱宜刚贾建亮万鹏远潘志华杨军周锐

Ⅰ

/—

TCEMIA0232021