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第六章压电式传感器

6.1压电效应及材料

6.1.1压电效应

在离子型晶体的电介质的一定方向上施加机械力而产生形变时，就会引起它内部的正负电荷中心相对转移而产生电的极化，从而导致其两个相对表面（极化面）上出现符号相反的束缚电荷Q且其电荷密度σ与外应力张量T成正比：

当外力消失，又恢复不带电状态；当外力方向改变，电荷极性随之改变。这种现象称为正压电效应，简称压电效应。

逆压电效应

若对上述电介质施加电场作用时，同样会引起它内部的正负电荷中心相对转移而导致电介质产生形变，且其应变S与外电场强度E成正比：

这种现象称为逆压电效应，或称电致伸缩。

可见，具有压电特性的电介质(压电材料)能实现机－电能量的相互转换

石英晶体的压电效应演示

当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。

电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄露，改善传感器的低频特性。

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居里点温度：压电材料开始丧失压电特性的温度。即工作温度上限。

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介电常数：决定压电器件的固有电容，固有电容影响压电传感器的频率下限（C越大，频率下限就越低）。

03

机械耦合系数：衡量压电材料机－电能量转换效率。是转换输出能量（如电能）与输入能量（如机械能）之比的平方根。

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压电常数：衡量材料压电效应强弱的参数，影响压电输出的灵敏度；

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弹性常数：刚度决定压电器件的固有频率和动态特性

02

主要特性参数：

6.1.2压电材料

压电晶体

单晶体结构：SiO2。正六面体。

各向异性：

1石英晶体

由晶体学可知，无对称中心的晶体，通常具有压电效应。

纵轴z：光轴，沿z轴方向的作用力不产生压电效应。

电轴：x轴，电轴，垂直于此轴的面上压电效应明显。纵向压电效应。

机械轴：y轴，切割方向，电场作用下沿该轴方向的机械变形最明显。横向压电效应。

石英晶体压电模型

外力＝0：正负离子分布在正六边形顶角上，形成三个互成120夹角的电偶极距P1，P2，P3。

P=ql，l是正负电荷之间的距离。此时正负电荷重心重合，矢量和P1+P2+P3=0。晶体表面不产生电荷，呈中性。

Fx拉力（Fy压力）：晶体沿x方向压缩变形，正负离子相对位置变动。正负电荷重心不再重合，P1减小，P2，P3增加，使电偶极距在x方向上的分量不等于零，在x轴正方向出现负电荷；电偶极距在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。

Fx压力（Fy拉力）：晶体沿y方向压缩变形，P1增大，P2，P3减小。电偶极距x方向上的分量不等于零，x轴正方向出现正电荷；电偶极距在y方向上分量仍为零，不出现电荷。

Fz0：晶体在x,y方向产生的形变完全相同，正负电荷重心重合，电偶极距矢量和等于零，晶体不会产生压电效应。

石英晶体

天然形成的石英晶体外形

天然形成的石英晶体外形（续）

石英晶体切片及封装

石英晶体薄片

双面镀银并封装

石英晶体振荡器（晶振）

石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。

晶振

锂盐类压电和铁电单晶材料。

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时间稳定性好，居里点温度高达1200°C，在高温、强辐射条件下仍具有良好的压电效应，且机械性能好，同时具有光电、声光效应。不足之处是质地脆，抗机械和热冲击性差。

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2.其它压电单晶

压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系压电陶瓷（如BaTiO3等）。

压电系数高，灵敏度较石英材料高，但工作温度低，温度稳定性和机械强度都不如石英。

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6.1.2.2压电陶瓷

1.压电陶瓷的极化处理

压电陶瓷是一种经极化处理后的人工多晶铁电体。所谓“多晶”，它是由无数细微的单晶组成；所谓“铁电体”，它具有类似铁磁材料磁畴的“电畴”结构。每个单晶形成一单个电畴，无数单晶电畴的无规则排列，致使原始的压电陶瓷呈现各向同性而不具有压电性(如图6.4所示)。要使之具有压电性，必须作极化处理，即在一定温度下对其施加强直流电场，迫使“电畴”趋向外电场方向作规则排列〔如图6.4(中)〕；极化电场去除后，趋向电畴基本保持不变，形成很强的剩余极化，从而呈现出压电性〔如图6.4(右)〕。

常用压电陶瓷(书P138表6－1)

压电陶瓷外形

无铅压电陶瓷及其换能器外形

（上海硅酸盐研究所研制）

1、压电半导体

硫化锌(ZnS)、碲化镉(CdTe)、氧化锌(Zno)、硫化镉(CdS)、碲化锌(ZnTe)和砷化镓(GaAs)等。

显著特点：具有压电效应，又有半