面向光刻机复眼摆镜阵列的超微小型二维位移台研制.pdfVIP

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

摘要

作为精密驱动装置之一，精密位移台在众多微纳操作领域有着广泛的需

求，如航空航天的真空机械手，生物医药的细胞操作，以及近几年热门的半

导体加工等高精尖领域。光刻设备是半导体等高精尖领域的基石，其成功研

制对国内工业发展意义重大。复眼摆镜阵列作为光刻设备等光学精密制造设

备的核心部件之一，更具有极高的研究价值。复眼摆镜阵列中各单元由反射

镜和调整装置组成，由于各单元间布局的紧凑性，其驱动单元需兼具小尺寸、

大行程和极小的分辨力，同时其应用环境应考虑真空和散热，满足上述要求

的超微小型位移台目前仅美国、德国极少数厂商可以生产制造。

粘滑精密位移台兼具低散热、小尺寸、大行程和极小的分辨力，同时可

用于真空环境，因此，在国家自然科学基金《基于纳米级粗糙表面接触理论

的微观摩擦机理及可定量滑移方法研究》及课题组与华为合作项目的资助下，

本文基于粘滑驱动原理研制了一套二维精密位移台，用作复眼摆镜调整装置

的驱动单元。柔性驱动足是决定粘滑位移台运动性能的核心零件之一，本文

依据柔性驱动足与动子的接触点数量及柔性驱动足接触点的切向位移和法向

位移是否耦合的特点，以柔性铰链为基础，设计了三种机械结构不同的柔性

驱动足，进而研究影响粘滑位移台运动特性的主要因素及通用的影响规律。

针对各柔性驱动足，本文分析了结构参数与最终形变位移和接触点受力大小

的关系，并对各柔性驱动足进行了静力学仿真及模态仿真，为驱动足加工提

供理论指导。

本文针对精密位移台粘滑运动过程中存在的复杂摩擦现象及其实际使用

环境，消除隆德-格勒诺布尔（LuGre）摩擦模型的冗余参数，简化了参数辨

识及仿真工作，并联立粘滑位移台的动子、柔性驱动足和压电陶瓷等子模块

建立动力学模型，其中将压电陶瓷等效为一个弹簧-阻尼系统，采用等效质量、

等效刚度和等效阻尼构建压电陶瓷的输出位移模型，并分析其阶跃响应特性。

本文根据位移台动力学模型进行运动性能仿真，总结了包括锯齿波驱动信号、

接触预紧力、滑块质量和接触点数量等因素对位移台步长和步进效率的通用

影响规律，并以此为依据对粘滑精密位移台的实际应用提供理论指导。

本文搭建了粘滑精密位移台性能测试实验平台，采用位移解耦式柔性驱

动足证明了变压力结构位移台相比恒压力位移台具有更好的性能，进一步验

证了锯齿波控制电压各参数及滑块质量和预紧力对位移台性能的影响规律的

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有效性，并采用单触点式柔性驱动足和双触点式柔性驱动足验证了触点数量

的影响规律的有效性；最终搭建平面尺寸为11.5mm×11.5mm的二维微型位

移台测试其运动性能，在重力负载为100g时，X轴正向分辨力0.08μm，反

向分辨力0.10μm，行程为0.5mm；Y轴正向分辨力0.03μm，反向分辨力

0.08μm，行程为0.3mm，满足复眼摆镜调整装置的需求，同时测得X轴正

向最大速度0.246mm/s，反向最大速度0.263mm/s，Y轴正向最大速度0.160

mm/s，反向最大速度0.215mm/s。

关键词：精密位移台；压电粘滑驱动；柔性铰链；动力学模型

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Abstract

Asoneoftheprecisiondrivingdevices,theprecisionlinearstagehasawide

rangeofdemandsinmanymicro-nanomanipulationfields,suchasvacuum

manipulatorsinaerospace,cellmanipulationinbiomedicine,andhigh-precision

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