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氧化镓基光电探测器件设计及其性能优化研究

目录

氧化镓基光电探测器件设计及其性能优化研究（1）．．．．．．．．．．．．．．3

一、内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2氧化镓材料的研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3光电探测器件的发展概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

二、理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1半导体光电效应基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2氧化镓材料特性及其在光电领域中的应用前景．．．．．．．．．．．．．．10

三、器件设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1结构设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.2制备工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.3关键技术难题及解决方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

四、性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.1测试方法介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

4.2数据收集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.3性能指标评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

五、优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.1材料改进方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.2工艺参数调整．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

5.3外部条件影响因素探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

六、结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.1主要研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

6.2对未来工作的建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

氧化镓基光电探测器件设计及其性能优化研究（2）．．．．．．．．．．．．．31

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

氧化镓基光电探测器件基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.1氧化镓材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

2.2光电探测原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.3器件结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

氧化镓基光电探测器件设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.1量子阱结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

3.2探测电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.3表面态与掺杂控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

氧化镓基光电探测器件性能优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

4.1材料生长与制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

4.2