深紫外波段偏振不敏感金刚石超透镜的设计与制备研究.pdfVIP

摘要

摘要

深紫外波段光学系统一直以来是我国的“卡脖子”问题之一。目前，深紫外

波段光学系统主要采用反射式传统光学透镜系统，有着结构复杂、加工难度大、

体积大以及无法适应未来高速曝光趋势等缺点。超透镜具有体积小、结构简单

和慧差小等突出优势，使得深紫外波段光学系统的小型化成为可能。目前超透

镜的介质材料在深紫外波段均有介质损耗，无法满足深紫外波段光学系统的需

求。金刚石具有在深紫外波段介质损耗接近于零和折射率大的物理特性，使得

超透镜在深紫外波段实现高效波前调控成为可能。

基于上述背景，本文设计并制备了金刚石超透镜，证实了其对深紫外光全

调控的功能，并实现了金刚石超透镜的聚焦功能，有望解决深紫外波段光刻机

光学系统小型化问题。具体研究了偏振不敏感金刚石超透镜设计方法与制备工

艺，主要研究内容和结果如下：

金刚石超透镜的设计与数值仿真研究。为了对深紫外波段入射光实现调控，

金刚石结构单元的相位调控范围须满足0-2π全覆盖。利用COMSOL

Multiphysics软件对金刚石圆柱体作为单元结构进行了模拟仿真，研究了金刚

石圆柱体结构单元尺寸变化对相位和透射率的影响规律。得到了满足0-2π全

相位覆盖且透射率高于75%的金刚石圆柱体单元结构。基于上述单元结构，

根据超透镜相位分布聚焦公式构建了基本单元排布阵列，设计了数值孔径为

0.8的超透镜，并利用FDTDsolution软件对其进行了仿真研究。所设计的金刚

石超透镜在X线偏振光、Y线偏振光、左旋圆偏振光和右旋圆偏振光入射时均

表现了同样的聚焦效果，表明其具有偏振不敏感功能，透镜的具体参数为数值

孔径达0.79、焦点半高宽达165nm、聚焦效率达60.2%以上。

金刚石超透镜的制备和光学表征。通过以电子束曝光和感应耦合等离子体

刻蚀为主的微纳制备技术制备了金刚石超透镜，对金刚石表面预处理工艺、光

刻胶剥离工艺和金刚石刻蚀工艺进行了优化调节，最终实现了金刚石的高质量

刻蚀，获得了微纳结构尺寸符合设计要求的金刚石纳米柱，其直径和高度分别

为50-85nm和391nm。得到了图案完整度高、刻蚀深宽比为9:1和侧壁倾斜度

接近垂直的金刚石超透镜。搭建了深紫外波段测量系统，并对金刚石超透镜性

能进行了光学表征。测量系统包括深紫外光源系统和高分辨显微测量光路，所

获得的光源具有良好的平行性、高稳定性和足够大的光强。最终利用该测量系

统对金刚石超透镜进行了光学表征，并验证了超透镜在深紫外波段实现波前调

控的可行性。金刚石超透镜测量结果为数值孔径为0.77、焦斑半高宽为220

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摘要

nm、聚焦效率为35.4%。

关键词：超透镜；金刚石；光刻机；光调控；深紫外

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Abstract

Abstract

Thedeepultravioletbandopticalsystemhasalwaysbeenoneofthe

bottleneckissuesinChina.Currently,thedeepultravioletbandopticalsystem

isrealizedmainlybyusingtraditionalreflectiveopticallenssystems,whichhave

thedisadvantagesofcomplexstructure,difficultprocessing,largevolume,and

inabilitytoadapttothefuturehighspeedexposuretrends.Metalensposses