TZOIA-微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入试验方法及编制说明.pdfVIP

ICS31.200

CCSL55

ZOIA

中关村光电产业协会团体标准

T/XXXXXXX—XXXX

微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性

能的仪器化纳米压入试验方法

Micro-electromechanicalsystemstechnology–Instrumentednanoindentationtest

methodformeasuringmechanicalpropertiesofmetalthinfilms

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中关村光电产业协会  发布

T/XXXXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

I

T/XXXXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由武汉大学提出。

本文件由中关村光电产业协会归口。

本文件起草单位：武汉大学、中机生产力促进中心有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、

中国科学院微电子研究所、安徽芯动联科微系统股份有限公司、中关村光电产业协会

本文件主要起草人：刘胜、侯冬杨、东芳、陈志文、李根梓、赵力、杨剑宏、施秋楠、周维虎、

陈晓梅、苏佳乐

II

T/XXXXXXX—XXXX

微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入试

验方法

1范围

本文件适用于常温环境条件下附着在固体硬基底表面的金属薄膜，压入方向为垂直于试样表面的

方向，压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展到几微米。

本文件给出了金属薄膜材料的硬度、弹性模量和应力应变曲线的测定方法。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适

用于本文件。

GB/T22458-2008仪器化纳米压入试验方法通则

GB/T25898-2010仪器化纳米压入试验方法薄膜的压入硬度和弹性模量

GB/T21838.4-2020金属材料硬度和材料参数的仪器化压痕试验第4部分:金属和非金属覆盖层

的试验方法

3术语、定义和符号

3.1术语和定义

GB/T22458-2008中3.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1.1单一刚度测量continuousstiffnessmeasurement

利用准静态加载方式获得的载荷-深度曲