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世界上主要的几种多晶硅生产工艺

1．改进西门子法——闭环式三氯氢硅氢复原法

改进西门子法是用氯和氢合成氯化氢〔或外购氯化氢〕，氯化氢和工业硅粉在肯定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进展分别精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢复原炉内进展CVD反响生产高纯多晶硅。

国内外现有的多晶硅厂绝大局部承受此法生产电子级与太阳能级多晶硅。2．硅烷法——硅烷热分解法

硅烷〔SiH4〕是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物复原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松把握此技术，由于发生过严峻的爆炸事故后，没有连续扩大生产。但美国Asimi