双振子压电微泵的创新设计与多维度理论解析.docx

双振子压电微泵的创新设计与多维度理论解析

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，微机电系统（MEMS）作为多学科交叉融合的前沿领域，正以前所未有的速度改变着人们的生活和生产方式。微机电系统是指利用微纳加工技术，将微型传感器、执行器、信号处理和控制电路等集成在一个微小芯片上的系统，其尺寸通常在微米至毫米量级。它融合了微电子、微机械、材料科学、传感器技术、控制技术等多个学科的知识和技术，实现了传统宏观系统难以达到的微小尺寸、低功耗、高灵敏度、高可靠性等性能优势。微机电系统的出现，为解决众多领域的关键问题提供了全新的思路和方法，在生物医学、航空航天、信息通信、汽车电子、环境