《压电尺蠖式作动器研究的国内外文献综述》3900字.docx

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压电尺蠖式作动器研究的国内外文献综述

1国外现状

早在20世纪60年代,国外就有学者提出尺蠖式压电作动器的研究。1964年,G.RStibitz第一个提出了尺蠖驱动原理并发布了其设计开发的尺蠖作动器。但由于当时的生产水平,结构和性能都存在缺陷,技术不能达到生产所要求的标准。1966年,S.Hsu研发了世界上首台采用环形楔实现箝位的行走—推动式尺蠖式作动器。1968年,Douglas首次提出了由良平行导轨、两箝位机构和一驱动机构组成的管状行走型尺蠖式作动器。如图1.1所示。该作动器可用于精密加工的定位,但由于其导轨长度的限制会导致输出行程较小。

1972年,Galutva设计了首个全部

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