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氮化硅薄膜在太阳能电池上的性能研究与优化

目录

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1.1太阳能电池发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1.2氮化硅薄膜材料的应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.2.1氮化硅薄膜制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.2.2氮化硅薄膜在太阳能电池中的应用研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

氮化硅薄膜的制备与表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.1氮化硅薄膜的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.1.1化学气相沉积法