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硅压阻压力传感器在高湿度环境下的静电损伤机理分析
目录
内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2静电损伤概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.3硅压阻压力传感器发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.4高湿度环境对传感器的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.5本文研究内容及结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
硅压阻压力传感器基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.1压阻效应原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.2硅材料特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.3传感器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
2.4工作特性及性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
高湿度环境对传感器的作用机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
3.1湿气来源与类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.2湿气对材料的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.3湿气对器件界面作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
3.4湿气诱发缺陷形成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
静电损伤的产生条件与类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
4.1静电荷产生方式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
4.2传感器表面电荷积累．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
4.3静电放电现象．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
4.4静电损伤主要类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
高湿度环境下静电损伤机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
5.1湿气增强电荷注入．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
5.2湿气促进界面击穿．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
5.3湿气诱发化学腐蚀．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
5.4湿气与静电协同作用效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
静电损伤对传感器性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
6.1输出信号漂移．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
6.2灵敏度下降．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
6.3稳定性变差．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
6.4器件寿命缩短．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
静电损伤的表征与评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
7.1测试方法选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
7.2传感器可靠性测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
7.3损伤程度评估标准．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
7.4实验结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
静电损伤防护措施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
8.1材料选择优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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