传感器结构原理与设计第六章压电式传感器.pptxVIP

1压电式传感器基于某些物质的压电效应工作，是一种发电式传感器（无源传感器）。2压电效应可逆，故压电式传感器是一种“双向传感器”。3优点：响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻、体积小。4缺点：无静态输出，阻抗高，需要低电容的低噪声电缆，很多压电材料工作温度在250℃左右。第六章压电式传感器

第一节压电效应与压电元件1、压电效应正压电效应：某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的一定表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。逆压电效应：当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失的现象。电能机械能正压电效应逆压电效应

压电方程直观表达式：局限性：本方程式仅适用于一定尺寸的压电元件。

一般表达式：几点说明：下角标i、j：i=1、2、3，表示晶体的极化方向；j=1、2、3、4、5、6，分别表示沿x轴、y轴、z轴方向的单向应力和围绕x轴、y轴、z轴作用的剪切应力。0102

需要对因逆压电效应在晶体内产生的电场方向也作一规定，以确定dij的符号，使得方程组具有更普遍的意义。当电场方向指向晶轴的正向时为正，反之为负。02应力符号规定：单向应力的符号规定拉应力为正，压应力为负；剪切应力的符号用右螺旋定则确定。图6－2b表示其正向。01

各参数含义：q1、q2、q3－垂直于x轴、y轴、z轴的平面上的电荷面密度；?1、?2、?3—沿着x轴、y轴、z轴的单向应力；?4、?5、?6—围绕x轴、y轴、z轴的剪切应力；（3）晶体在任意受力状态下产生的表面电荷密度计算：

补充说明：压电常数dij的物理意义是指在“短路条件”下，单位应力产生的电荷密度。“短路条件”是指压电元件的表面电荷从一产生就立即被引开，因而在晶体形变上不存在“二次效应”。这样，压电材料的压电特性可以用它的压电常数矩阵表示如下：

压电材料二、压电材料明显呈现压电效应的敏感功能材料叫压电材料。压电式传感器属于物性型，故选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。压电材料选择的具体要求：①转换性能。要求具有较大压电常数。②机械性能。压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率。③电性能。希望具有高电阻率和大介电常数，以减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性。④环境适应性强。温度和湿度稳定性要好，要求具有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。⑤时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。

单晶体石英晶体种类：天然石英和人造石英。石英晶体外形：镜像对称，理想外形具有30个晶面。如图6－3a。石英晶体的晶体轴（右手直角坐标系表示）X轴，相邻柱面内夹角的等分线，垂直于此轴的面压电效应最强，又称电轴；Y轴，垂直于六边形对边的轴线，又称机械轴，在电场作用下，沿该轴方向的机械变形最明显；Z轴，垂直于X、Y轴的纵轴，此方向无压电效应，可用光学方法确定，又称光轴。

术语：纵向压电效应：在?1作用下产生电荷的压电效应；横向压电效应：在?2作用下产生电荷的压电效应。石英晶体的切割方法：X切和Y切。X切族：直角坐标中，切片的原始位置是厚度平行X轴，长度平行Y轴，宽度平行于Z轴，以此原始位置旋转出来的切型；Y切族：直角坐标中，切片的原始位置是厚度平行Y轴，长度平行X轴，宽度平行于Z轴，以此原始位置旋转出来的切型；

石英晶体的特点：（1）石英晶体的介电、压电常数的温度稳定性好，适于做工作温度很宽的传感器。压电常数与温度关系如图6－5。术语居里点：石英压电常数d在常温几乎不随温度变化，但当温度超过500℃时，急剧下降，达到573℃时，石英晶体失去压电特性，该温度称其居里点或倒转温度。

石英晶体的机械强度很高，可承受约108Pa的压力；在冲击力作用下漂移很小；弹性系数大。可测大量程的力和加速度。天然石英稳定性好，但资源少。一般用于校准用的标准传感器或精度很高的传感器。铌酸锂晶体：时间稳定性远强于压电陶瓷，居里点高达1200℃，适于做高温传感器。但其各向异性明显，比石英脆，耐冲击性差。

多晶体压电陶瓷：压电陶瓷是人工多晶体压电材料。压电陶瓷在没有极化之前不具有压电效应，是非压电体；压电陶瓷经过极化处理后具有压电效应，其电荷密度q与应力?的关系q=d33?d33－纵向压电常数。其极化方向定为Z轴。其中，BaTiO3压电陶瓷的独立压电常数只有三个，其压电常数矩阵如下：

原材料粉碎；成型；高温烧结得到多晶导电体；人工极化。压电陶瓷的制作工艺：1原始压电陶瓷无压电性，烧结后有自发的电偶极距形成的“电畴”，但其在原始材料中无序排列，极化能力相互抵消。将这些小电畴置于20～30kv/cm的强化电场放2～3小时，极性