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半导体制造2025年超精密加工技术在芯片制造中的应用与发展报告.docx

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    半导体制造2025年超精密加工技术在芯片制造中的应用与发展报告

    一、半导体制造2025年超精密加工技术在芯片制造中的应用与发展报告

    1.1超精密加工技术概述

    1.2超精密加工技术在芯片制造中的应用

    1.2.1光刻技术

    1.2.2刻蚀技术

    1.2.3化学气相沉积（CVD）技术

    1.3超精密加工技术的发展趋势

    1.3.1高精度加工技术

    1.3.2新型加工方法

    1.3.3智能化加工技术

    1.4超精密加工技术在芯片制造中的挑战与机遇

    1.4.1挑战

    1.4.2机遇

    二、超精密加工技术在芯片制造中的关键工艺与应用

    2.1光刻工艺

    2.1.1光学系统制造

    2.1.2光刻胶工艺

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