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全固态高功率深紫外皮秒激光器的研发与性能评估
目录
一、文档概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1激光器技术发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2深紫外皮秒激光器应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3研究目标与任务．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
二、全固态高功率激光器基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.1全固态激光器概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.2高功率激光器关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.3深紫外激光技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
三、全固态高功率深紫外皮秒激光器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
3.1激光器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
3.1.1增益介质选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.1.2光学谐振腔设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.1.3热管理与散热设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
3.2激光控制系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
3.2.1控制电路设计与实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
3.2.2触发与调制系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
四、全固态高功率深紫外皮秒激光器研发实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
4.1关键元器件制备与选型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
4.1.1增益介质制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
4.1.2高功率光学元器件选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
4.1.3封装与组装工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
4.2激光器性能优化措施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
4.2.1优化光学谐振腔结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
4.2.2调整控制参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
五、深紫外皮秒激光器性能评估方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
5.1性能评估指标与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
5.1.1输出功率与稳定性评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
5.1.2光束质量与光束特性评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
5.1.3脉冲宽度与脉冲特性评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
5.2实验测试与性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
5.2.1实验测试平台搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
5.2.2实验测试结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
六、全固态高功率深紫外皮秒激光器性能评估结果分析．．．．．．．．．．52
6.1输出功率及稳定性结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
6.2光束质量与光束特性结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
6.3脉冲宽度与脉冲特性结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
七、应用前景与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
7.1深紫外皮秒激光器应用领域展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
7.2技术发展趋势与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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