DB1310T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范.docxVIP

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DB1310

廊坊市地方标准

DB1310/T227—2020

电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺

技术规范

2020-10-16发布2020-11-16实施

廊坊市市场监督管理局发布

I

DB1310/T227—2020

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由大厂回族自治县市场监督管理局提出。

本标准起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。

本标准主要起草人：贾建亮、黄永恩、贾建恩、孙艳、关海华、李继东。

DB1310/T227—2020

1

电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范

1范围

本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。

本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB8978污水综合排放标准

GB12348工业企业厂界环境噪声排放