石英坩埚热场及单晶生长流程知识测试卷.docx

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石英坩埚热场及单晶生长流程知识测试试卷

考试时间:40分钟满分:100分

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一、填空题(每空1分,共15分)

TDR-160单晶炉热场的主体热源是___,采用______制成,最高温度可达______℃以上。

空1答案:加热器??空2答案:高纯石墨??空3答案:1700??

石英坩埚外侧为______,内侧为3-5mm的______,其作用分别是______和______。

空1答案:气泡复合层??空2答案:气泡空乏层??空3答案:提供均匀辐射热源??空4答案:降低溶液接触区气泡密度??

保温系统由______、

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