激光诱导石墨烯的柔性压力传感器特性探究 .pdf

激光诱导石墨烯的柔性压力传感器特性探究

目录

1,内容概述3

1.1研究背与意义3

1.2柔性电子技术发展概述4

1.3石墨烯材料特性及应用5

1.4激光诱导石墨烯制备方法6

1.5柔性压力传感器研究现状8

1.6本文研究内容及目标12

2,激光诱导石墨烯柔性压力传感器制备13

2.1实验材料与设备13

2.2石墨烯柔性基底制备15

2.2.1基底材料选择16

2.2.2激光诱导石墨烯制备工艺17

2.3激光诱导石墨烯柔性压力传感器结构设计18

2.3.1传感器结构设计原则20

2.3.2传感器制备流程21

2.4传感器性能测试方法22

3,激光诱导石墨烯柔性压力传感器性能测试与分析24

3.1传感器静态性能测试27

3.1.1灵敏度测试28

3.1.2线性度测试29

3.1.3滞后现象分析30

3.1.4阈值电压测试30

3.2传感器动态性能测试31

3.3传感器可靠性与耐久性测试32

3.3.1机械疲劳测试34

3.3.2环境适应性测试