TCCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范.docxVIP

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团 体 标 准

T/CCSAS052—2025

三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

Safetytechnicalspecificationsforpolysiliconproductionbytrichlorosilanereductionmethod

2025-03-03发布 2025-03-03实施

中国化学品安全协会 发布

中国标准出版社 出版

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目 次

前言 Ⅲ

范围 1

规范性引用文件 1

术语和定义 2

设计与总图布局 2

基本要求 2

总平面布置 3

工艺及生产装置 3

防火、防爆设计与安全疏散 4

电气设施 5

过程自动控制 5

消防设施 6

通风与排烟 6

危险化学品储存 6

生产过程安全

一般要求

……………7

……………7

生产装置开车基本要求

生产装置停车基本要求

……………7

……………8

三氯氢硅合成 8

氯硅烷分离 9

三氯氢硅还原 10

还原尾气干法回收 11

四氯化硅冷氢化 12

二氯二氢硅反歧化 12

废气淋洗 13

附录A(资料性)多晶硅生产火灾危险性分类 15

附录B(资料性)多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度 16

附录C(资料性)多晶硅生产过程中的危险、有害因素 18

参考文献 20

Ⅰ

前 言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国化学品安全协会提出并归口。

本文件起草单位:中国氟硅有机材料工业协会、中国化学品安全协会、四川永祥股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、同轨科技成都有限公司、华陆工程科技有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川晨光工程设计院有限公司。

本文件主要起草人:李斌、兰云、杨武明、罗周、王世棋、郑东昊、程长进、韩洪流、王路、李超、朱文刚、刘继三、贾敏、程渝峰、严大洲、陈宏愿。

Ⅲ

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三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

范围

本文件界定了采用三氯氢硅(TCS)还原法生产多晶硅的术语和定义,规定了企业从设计到生产过程的安全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。

本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。采用其他工艺技术生产多晶硅的企业可参照执行。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB2894安全标志及其使用导则

GB5083生产设备安全卫生设计总则

GB7231工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识

GB12158防止静电事故通用导则GB15577粉尘防爆安全规程GB15603危险化学品仓库储存通则GB16297大气污染物综合排放标准

GB/T20801(所有部分)压力管道规范 工业管道

GB/T30000.31化学品分类和标签规范 第31部分:化学品作业场所警示性标志GB/T38144.1眼面部防护 应急喷淋和洗眼设备 第1部分:技术要求GB/T38144.2眼面部防护 应急喷淋和洗眼设备 第2部分:使用指南GB50016建筑设计防火规范

GB50057建筑物防雷设计规范

GB50058爆炸危险环境电力装置设计规范

GB50073洁净厂房设计规范GB50140建筑灭火器配置设计规范GB50160石油化工企业设计防火标准GB50177氢气站设计规范

GB50257电气装置安装工程 爆炸和火灾危险环境电力装置施工及验收规范

GB50316工业金属管道设计规范GB50351储罐区防火堤设计规范GB50370气体灭火系统设计规范

GB/T50493石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准

GB50650石油化工