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《GB/T37959-2019含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》最新解读
目录
一、含工艺腔室类集成电路装备设计为何要遵循GB/T37959-2019?专家深度剖析其必要性
二、建模仿真设计过程在该标准下如何规范开展?一文带你看全要点
三、未来几年,含工艺腔室类集成电路装备设计软件平台架构将有何变革?标准指明方向
四、GB/T37959-2019中信息模型的核心要素有哪些?深度解读关键数据集
五、用户信息在含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型中扮演何种角色?专家视角解读
六、产品信息在该标准下如何精准描述?关乎装备设计的关
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