可用于原子磁力仪的MEMS原子气室设计与制作.docxVIP

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2025-07-07 发布于中国
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可用于原子磁力仪的MEMS原子气室设计与制作

一、引言

随着科技的飞速发展，原子磁力仪在科学研究与实际应用中发挥着越来越重要的作用。MEMS（微机电系统）技术为原子磁力仪的设计与制作提供了新的可能性。其中，MEMS原子气室作为原子磁力仪的核心部件，其设计与制作对提高磁力仪的性能具有至关重要的意义。本文将详细介绍可用于原子磁力仪的MEMS原子气室的设计与制作过程。

二、MEMS原子气室设计

1.设计要求

MEMS原子气室的设计需满足以下要求：首先，气室需具有高真空度和良好的密封性能，以保证原子在气室内的稳定运动；其次，气室结构应便于集成和安装，以满足在原子磁力仪中的应用；最后，设计应考虑降低生