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SEM和EDS的现代分析测试方法.ppt

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    优选SEM和EDS的现代分析测试方法材料的现代分析测试方法

    第一章扫描电子显微镜(SEM)

    第一节概述第二节电子束与固体样品

    相互作用一．背散射电子二．二次电子三．吸收电子四．透射电子五．特征Ｘ射线六．俄歇电子七．阴极荧光八．电子束感生电效应１．电子束感生电导信号２．电子束感生电压信号大家学习辛苦了，还是要坚持继续保持安静第三节SEM工作原理第四节SEM的构造一.电子光学系统组成:电子枪,电磁聚光镜,光阑,样品室等.作用:用来获得扫描电子束,作为

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