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半导体薄膜厚度测量技术考核试卷
考生姓名:答题日期:得分:判卷人:
本次考核旨在评估考生对半导体薄膜厚度测量技术的掌握程度,包括原理、方法、应用及实际操作等方面。
一、单项选择题(本题共30小题,每小题0.5分,共15分,在每小题给出的四个选项中,只有一项是符合题目要求的)
1.薄膜厚度测量的基本原理是利用薄膜对光的干涉现象,以下哪种波长范围的光通常用于薄膜厚度测量?()
A.紫外光
B.可见光
C.红外光
D.微波
2.在薄膜干涉测量中,若入射光的波长为λ,薄膜的厚度为t,反射光的光程差为ΔL,则ΔL的表达式为()。
A.
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