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大尺寸AMOLEDTFT器件结构及背板工艺-讲稿

P1：各位同事大家好。学习，成长，来到T学堂，欢迎大家收看【全

民学技术】系列课程。

我是来自华星光电AMOLED技术开发处，背板技术部的先简单跟大家做一下自我

介绍，我是2020年于大学，通过校园招聘有幸入职TCL华星光电，目前

主要负责的领域是AMOLED背板技术开发。今天为大家的是，大尺寸AMOLEDTFT

器件结构和背板工艺技术。

P2：本次课程分为下列四个方面。1、薄膜晶体管TFT技术概述；2、氧化物；3、氧

化物TFT器件结构与工艺；4、大尺寸OLEDTFT器件的关键技术。

P3：首先，我们来简单介绍一下TFT技术的应用背景。何为TFT，是thinfilmtransistor的简

称，中文名薄膜场效应晶体管，它是一种电子器件，可通过电信号来控制屏幕上各个独立的

像素点，被广泛应用于显示器件领域。显示技术的发展最早是从CRT技术到PDP，再到目前

最成熟并广泛应用的LCD显示，以及现在重点开发的AMOLED显示技术，在这其中，

从第三代LCD显示开始，TFT基板就成为了多种显示技术中不可或缺的重要组成部分，主要

用于控制发光单元。那TFT在显示器件中是如何发挥控制功能的呢？

P4：下面我们以AMOLED显示技术为例讲解一下TFT的工作原理。AMOLED是一种主动发光

显示技术，主要包含OLED发光器件和TFT背板两个组成部分。其中，TFT背板是用于控制

对应像素单元OLED器件的发光状态，由于每一个像素单元都包含独立的R、G、B发光器

件，所以每一个发光单元都有对应的独立TFT开关来进行控制，最终显示丰富多彩的图像。

在AMOLED显示中，每个像素的驱动电路往往包含多个TFT元件，并且不同的TFT承担着不

同的功能，有的用来控制电流是否流过，有的用来控制电流的大小，以常见的3T1C像素驱

动电路来讲，每一个发光单元同时由3个TFT进行控制。以驱动电路中的1#TFT为例，我们

可以看出TFT实际上是一个三端器件，分别是gate栅极、soure源极、drain漏极。如果将

TFT器件中的电流类比成水流，那栅极作为整个TFT的部件就相当于一个水龙头，它决

定着水是否可以流过，也决定着水的流量大小。当栅极这个开关开启后，电流就能从源极流

向漏极，从而向OLED供电，驱动发光单元发光。

P5：接下来我们再详细介绍TFT的器件结构和基本原理。这是TFT器件的横截面结构，在玻

璃衬底上依次形成缓冲层、主动层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层、源极漏极和保

护层。其中，源极、漏极、栅极是接收、传输电信号的三端，四层绝缘层将这三端开来，

主动层受到栅极电压的控制，可以感应电荷形成导电沟道，是TFT器件中极为关键的

一层材料。当栅极不加电压时，TFT的主动层中没有导电沟道。当栅极施加正向电压

时，的电子被吸引到栅极绝缘层表面，形成导电沟道，Source和Drain导通，TFT打

开。当栅极施加负电压，栅极绝缘层表面的电子遭到排斥，导电沟道，电子无法从Source

电极流到Drain电极，TFT关闭。这样通过施加不同栅极电压，就能控制源漏极间的电流。

在TFT的工作中，有两个参数至关重要，第一是阈值电压（Vth）：用于使得TFT从关闭状态

切换到打开状态所需要施加在Gate上的电压；第二迁移率（Mob.）：表征载流子（电子）在

沟道中传输快慢的能力，Mob.越大表示可获得电流越大。在实际应用中，这两个指标也常被

用来衡量TFT电学性能的好坏。在刚才介绍TFT器件结构时，我们提到过TFT中有一层关键

材料，不知道大家还记不记得？

P6：对，就是主动层，下