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多反射极相位补偿型容栅传感器位移测量方法及实验研究

一、引言

在工业自动化、精密测量和机器人技术等领域,位移测量技术扮演着至关重要的角色。随着科技的发展,容栅传感器因其高精度、高稳定性和良好的抗干扰能力,已成为位移测量的重要工具。本文将重点介绍多反射极相位补偿型容栅传感器位移测量方法,并通过实验研究其性能及特点。

二、多反射极相位补偿型容栅传感器原理

多反射极相位补偿型容栅传感器主要由多个反射极和电容极组成。其工作原理基于电磁感应和电容变化,通过测量电容的变化来推算位移。多反射极的设计可有效提高测量的精度和稳定性,而相位补偿技术则能进一步提高测量的准确性。

三、位移测量方法

(一)信号采集与处

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