CN109860176B 用于高级集成电路结构制造的替换栅极结构.docxVIP

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN109860176B(45)授权公告日2025.05.27

(21)申请号201811297814.0

(22)申请日2018.10.31

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN109860176A

(43)申请公布日2019.06.07

(30)优先权数据

62/593,1492017.11.30US15/859,3542017.12.30US

(73)专利权人英特尔公司地址美国加利福尼亚

(72)发明人B

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