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2025年半导体设备研发趋势:关键技术与路线解析模板
一、2025年半导体设备研发趋势:关键技术与路线解析
1.1技术创新是推动半导体设备研发的核心动力
1.1.1先进封装技术
1.1.2光刻技术
1.1.3半导体材料
1.2研发路线解析
1.2.1加强基础研究
1.2.2产学研合作
1.2.3产业链协同
1.2.4政策支持
1.2.5人才培养
二、先进封装技术:半导体设备研发的突破口
2.1三维封装技术
2.1.1技术突破
2.1.2设备研发
2.1.3材料要求
2.2硅通孔(TSV)技术
2.2.1芯片内部连接
2.2.2设备要求
2.2.3材料创新
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