主动隔振实验系统设计及其控制算法的深度研究与实践.docx

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2025-07-19 发布于上海
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主动隔振实验系统设计及其控制算法的深度研究与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业与科技发展的进程中，振动问题成为影响各类设备性能与工作精度的关键因素，主动隔振技术应运而生，且在众多领域展现出了不可或缺的重要性。

在工业生产领域，随着制造业朝着高精度、高可靠性方向迈进，精密加工设备对工作环境的振动要求愈发严苛。例如，在半导体制造过程中，芯片加工设备的精度达到纳米级，微小的振动都可能导致芯片电路布线偏差，从而降低芯片良品率，严重影响生产效益与产品质量。主动隔振技术能够实时监测设备的振动状态，并通过控制系统产生反向作用力，有效抵消外界振动干扰，保障设备稳定运行，提高生产效率与产品精度