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CN111373512B 使用ale蚀刻金属氧化物衬底以及选择性沉积.pdfVIP

CN111373512B 使用ale蚀刻金属氧化物衬底以及选择性沉积.pdf

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN111373512B

    (45)授权公告日2025.06.13

    (21)申请号201880071476.0理查德·怀斯阿潘·马霍罗瓦拉

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