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2025年先进制程湿法清洗设备研制项目可行性分析
TOC\o1-5\h\z\u一、项目概况 2
二、项目实施的可行性 2
1、半导体湿法清洗设备行业具有广阔的市场空间 2
2、公司具备项目实施所需的基础 3
（1）技术储备 3
（2）研发能力 3
（3）人才储备 3
（4）客户资源 4
3、项目符合产业政策和国家经济发展战略 4
三、项目投资概算 4
四、项目实施进度安排 5
五、环境保护措施 5
一、项目概况
在全球半导体设备国产化趋势下，
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