T_CIET 1279-2025 碳化硅单晶生长技术规范物理气相传输法（PVT）.docxVIP

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TCIET

团体标准

T/CIET1279—2025

碳化硅单晶生长技术规范物理气相传输

法（PVT）

Technicalspecificationforsiliconcarbidesinglecrystalgrowth—Physicalvapor

transportmethod(PVT)

2025-05-14发布2025-05-14实施

中国国际经济技术合作促进

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