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半导体设备维护智能化升级后的设备维护与保养手册.docx

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    半导体设备维护智能化升级后的设备维护与保养手册

    一、半导体设备维护智能化升级后的设备维护与保养手册

    1.1设备维护智能化升级背景

    1.1.1智能化维护的优势

    1.1.2设备维护智能化升级的意义

    1.2智能化维护与保养体系构建

    1.2.1设备状态监测

    1.2.2预防性维护

    1.2.3智能化故障诊断

    1.2.4保养计划制定

    1.3智能化维护与保养手册编制

    1.3.1手册内容

    1.3.2手册编制原则

    1.3.3手册编制方法

    二、智能化维护与保养体系的实施与优化

    2.1设备状态监测系统的部署与运行

    2.1.1传感器选型与安装

    2.1.2数据采集与传输

    2.1.3中央监控

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