1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 电子工程/通信技术
  5. 无线电电子学/电信技术

基于混合模拟的射频容性耦合SiH4_Ar放电电子动理学特性研究.docx

基于混合模拟的射频容性耦合SiH4_Ar放电电子动理学特性研究.docx

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    基于混合模拟的射频容性耦合SiH4/Ar放电电子动理学特性研究

    一、引言

    1.1研究背景与意义

    在现代科学与工业技术的发展进程中，射频容性耦合反应性气体放电（Radio-FrequencyCapacitivelyCoupledReactiveGasDischarges）作为一项关键技术，在材料加工、半导体制造、表面处理等诸多领域展现出了不可或缺的重要性。

    在材料加工领域，利用射频容性耦合反应性气体放电可以实现对材料表面的精确改性，通过等离子体与材料表面的相互作用，改变材料表面的化学成分、微观结构和物理性质，从而提高材料的耐磨性、耐腐蚀性、生物相容性等性能，拓宽材料的应用范围。在半

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1234554321 + 关注
    实名认证
    内容提供者

    该用户很懒，什么也没介绍

    咨询Ta 进入空间

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >