西安电子科技大学《光电检测技术》课件-mems传感器第一节.pptVIP

下载本文档

0
0
约小于1千字
约 10页
2025-08-07 发布于北京
举报
版权申诉

西安电子科技大学《光电检测技术》课件-mems传感器第一节.ppt

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

光电技术（MEMS）机械式光开关基于移动光纤式（MEMS)基于微镜式（MEMS)基于微镜式MEMS（二维）基于微镜式MEMS其它方式MEMS微机电系统型光衰减器是利用MEMS技术制造光衰减器的精密部分，然后再将他们精密的组装起来。它实际上也是一种机械式的光衰减器。优点：在硅基体上制造，使用相当标准的半导体工艺，因此可以低成本大批量自动化生产缺点：它是机械部件，应用于通讯的可靠性还有待于证实**S4-14.mems器件mems已经在光衰减器、光学开关、光电力学、光学系统调谐及集成、光学扫描、光电图像传感器方面获得了越来越多的应用。MEMS：MicroElectronicandMechanicalSystem利用硅材料和微电子加工技术制作的微机械装置MEMS器件可调谐器件微F-P腔可调光衰减器光调制器低速率、低成本接入网光滤波器复用/解复用器光栅特点偏振无关机械可靠性高设计不受光纤种类限制开关速度慢（毫秒）特点偏振无关机械可靠性高扩展性好开关速度较快（10微秒）组成部分活动微镜驱动执行单元输入/输出光纤结构二维N2结构方案活动微镜只有两种状态运动方式：上下折叠、左右移动和旋转控制简单难以直接实现大端口数（最大32）用级联方式实现大端口数（可达数百）三维2N个微镜每个微镜有N个可能状态驱动结构极为复杂4×44×4组成的8×8（MEMS）微机电系统型