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《微机电系统（MEMS）技术压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法》标准化发展报告

StandardizationDevelopmentReportonTestMethodsforElectromechanicalConversionCharacteristicsofPiezoelectricMicrocantileversinMEMSTechnology

摘要

随着微电子机械系统（MEMS）技术的快速发展，压电微悬臂梁作为关键功能器件，在传感器、执行器等领域应用广泛。然而，由于微尺度下薄膜材料的力学行为与宏观材料存在显著差异，传统测试方法难以准确表征其机电转换特性。本报告围绕《微机电系统（MEMS）技术压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法》标准立项，系统分析了其目的意义、适用范围及核心技术内容。

研究背景方面，MEMS器件向集成化、微型化发展，对动态特性测试提出更高要求。压电微悬臂梁的机电性能直接影响器件可靠性，但现有测试技术成熟度不足，亟需建立标准化方法。本文件通过规范测试平台搭建、压电系数测量原理及实施步骤，为微悬臂梁压电薄膜提供精确的特性参数获取方案。

技术内容上，标准涵盖测试平台构建、激光多普勒测振技术应用、动态响应分析等核心环节，适用于消费电子、工业设备等多元场景。实施该标准将显著提升MEMS器件设计优化效率，推动产业链协同发展。报告最后展望了标准在5G、物联网等新兴领域的应用前景。

关键词：微机电系统（MEMS）；压电微悬臂梁；机电转换特性；测试方法；标准化

Keywords:Micro-Electro-MechanicalSystem(MEMS);Piezoelectricmicrocantilever;Electromechanicalconversioncharacteristics;Testmethod;Standardization

正文

1.标准制定的目的与意义

微电子机械系统（MEMS）技术的进步使得微米级机械结构得以大规模应用，其中压电微悬臂梁因具有高灵敏度、快速响应等优势，被广泛应用于原子力显微镜、环境传感器等领域（参照GB/T26111-2010《微机电系统（MEMS）技术术语》）。然而，微尺度下薄膜材料的杨氏模量、残余应力等参数与宏观材料存在数量级差异，传统测试方法误差显著。

当前行业痛点主要体现在三方面：

1.测试精度不足：悬臂梁动态特性（如谐振频率、品质因数）的测量受环境振动、信号噪声干扰严重；

2.方法不统一：不同厂商采用光学干涉法、电容法等差异化工序，数据可比性差；

3.寿命评估缺失：压电薄膜的疲劳特性缺乏标准化测试流程，影响器件可靠性设计。

本标准的制定将填补上述空白，通过规范激光多普勒测振仪（LDV）的使用、动态激励信号生成等关键技术环节（参考ISO16063-11振动校准标准），为行业提供可复现的测试方案。据中国电子技术标准化研究院统计，实施后预计可降低MEMS产品研发周期20%以上。

2.标准范围与核心技术内容

2.1适用范围

本标准适用于通过MEMS工艺制造的微悬臂梁压电薄膜，包括但不限于：

-材料体系：PZT、AlN等压电薄膜；

-结构尺寸：长度50-500μm，厚度0.1-5μm的悬臂梁结构；

-应用领域：生物传感器、能量采集器等消费电子与工业设备。

2.2主要技术内容

标准技术框架包含以下核心模块：

|章节|内容要点|技术依据|

|------|----------|----------|

|测试平台|高真空环境控制（≤10?3Pa）、抗电磁干扰设计|IEC60749-26半导体器件机械应力测试|

|压电系数测量|动态激励频率范围（1kHz-10MHz）、电压-位移响应曲线拟合|IEEE176压电材料标准|

|数据报告|包含谐振峰半高宽、机电耦合系数等12项必填参数|JJF1059测量不确定度评定指南|

创新性体现在：

-提出多频段扫频法解决宽频域响应非线性问题；

-引入有限元仿真对比验证，提升数据可信度。

主要参与单位介绍

中国电子科技集团公司第十三研究所作为本标准牵头单位，是国家MEMS技术重点实验室依托机构，拥有国内领先的6英寸MEMS工艺线。该所近年来主导制定GB/T30544.5-2019《纳米机电系统（NEMS）测试方法》等12项国家标准，在压电器件测试领域发表SCI论文40余篇，其研发的高精度MEMS动态参数测试仪已应用于华为、歌尔等企业生产线。

结论与展望

本标准通过建立压电微悬臂梁机电特性的统一测试方法，将有效促进MEMS产业链上下游协作。未来建议从三方面深化：

1.技术扩展：适配二维材料（如MoS?）等新型压电薄膜