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6.5.4光栅尺位移传感器2.光栅检测装置为了提高系统分辨率,需要对莫尔条纹进行细分。其方法是在一个莫尔条纹宽度内,按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2个差分放大器输入端,从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2。为得到判向和计数脉冲,需对这两路信号进行整形,首先把它们整形为占空比为1:1的方波;然后,通过对方波的相位进行判别比较,就可以得到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数,可以得到光栅尺的位移和速度。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。6.5.4光栅尺位移传感器2.光栅检测装置为了
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