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工业用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)塑料管道系统第3部分:管件标准研究报告
ResearchReportonStandardforIndustrialPerfluoroalkoxy(PFA)PlasticPipingSystems-Part3:Fittings
摘要
随着我国半导体、光伏和医药产业的快速发展,对高纯度流体输送系统的需求日益增长。全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)因其卓越的耐腐蚀性(可耐受氢氟酸等强腐蚀介质)、耐高温性(连续使用温度260℃)和超低析出特性(金属离子含量0.1ppb),成为芯片制造中光刻、蚀刻等关键工艺的理想材料。本报告详细分析了
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