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传感器与检测技术

光栅位移传感器

一目录接近传感器光栅位移传感器二三光电编码器液位传感器四流量及流速传感器五

02光栅位移传感器

a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光），a+b=W称为光栅的栅距（也称光栅常数）。通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、100、250条线条。一光栅位移传感器1.莫尔条纹

一光栅位移传感器1.莫尔条纹长光栅圆光栅

一光栅位移传感器1.莫尔条纹主光栅指示光栅莫尔条纹移动均匀刻线夹角明暗相间条纹

一光栅位移传感器1.莫尔条纹莫尔条纹的光学放大作用在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角θ。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带。光栅的刻线宽度W莫尔条纹的宽度LL≈W/θ（θ为主光栅和指示光栅刻线的夹角，弧度）

一光栅位移传感器有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角?=1.8?。则：分辨力?=栅距W=1mm/50=0.02mm=20?m（由于栅距很小，因此无法观察光强的变化）莫尔条纹的宽度是栅距的32倍：L≈W/θ=0.02mm/（1.8?×3.14/180?）=0.02mm/0.0314=0.637mm由于较大，因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。

一光栅位移传感器指示光栅沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着主光栅栅线向下移动；指示光栅向左移动时，莫尔条纹沿着主光栅的栅线向上移动。根据莫尔条纹移动方向可以对指示光栅的运动进行辨向。主光栅相对指示光栅的转角方向为顺时针方向莫尔条纹移动方向

一光栅位移传感器莫尔条纹的特点误差的平均效应莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。例W=0.02mm，接收元件尺寸10×10mm2，在10mm范围内有500条刻线参与工作，某几条刻线误差对莫尔条纹位置和形状基本无影响。

（一）光栅位移传感器结构及工作原理一光栅位移传感器按检测位移性质长光栅：用于长度或直线位移的测量，刻线相互平行。圆光栅：用来测量角度或角位移，在圆盘上刻线。按光源照射方法透射光栅反射光栅按制造光栅材料玻璃光栅金属光栅1.光栅分类

一光栅位移传感器透射光栅优点：光源垂直入射，信号幅值较大，信噪比好，光电转换器的结构简单；光栅每毫米的线纹数多，减轻了电子线路的负担。缺点：玻璃易破裂，热胀系数与机床金属部件不一致，影响测量精度。透射光栅尺的长度一般都在1～2m，常见的线纹密度为每毫米4、10、25、50、100、200、250线。反射光栅优点：光栅和机床金属部件的线膨胀系数一致，可用钢带做成长达数米的长光栅。安装面积小，调整方便，适应于大位移测量场所。缺点：为了使反射后的莫尔条纹反差较大，每毫米内线纹不宜过多，常用线纹数为4、10、25、40、50。2.各类光栅优缺点

一光栅位移传感器3.光栅传感器组成由三大部分组成：光源和透镜；光栅副(主光栅和指示光栅)；光电接收元件

一光栅位移传感器4.光栅传感器原理光栅检测装置基本结构示意图1—光源；2—透镜；3—指示光栅；6—标尺光栅；4—光电元件；5—驱动电路。

一光栅位移传感器透射式光栅透射式圆光栅反射式光栅

一光栅位移传感器尺身尺身安装孔反射式扫描头（与移动部件固定）扫描头安装孔可移动电缆防尘保护罩的内部为长栅5.光栅的外形及结构

一光栅位移传感器扫描头（与移动部件固定）光栅尺可移动电缆

6.长光栅式位移传感器的特点一光栅位移传感器长光栅位移传感器的测长精度可达0.5～3?m(3000mm范围内)，分辨力可达0.1?m，可进行无接触测量。

用两块刻线数目相同，切线圆半径分别为r1、r2的切向圆光栅同心放置，所产生的环形莫尔条纹如图所示：其条纹间距为一光栅位移传感器（二）圆光栅原理

一光栅位移传感器播放动画播放中……单击准备演示环形莫尔条纹

用两块刻线数目相同的径向圆光栅偏心放置，偏心量为e，这时形成不同曲率半径的圆弧形莫尔条纹如图所示一光栅位移传感器其条纹间距为动光栅固定在转轴上，因此，可将轴旋转的角度量变换成莫尔条纹信号。通过光电转换元件，将莫尔条纹的变化转换成近似于正弦波形的电信号。测角精度可达0.15”，分辨力可达0.1”，甚至更高。

一光栅位移传感器圆弧莫尔条纹播放中……单击准备演示播放动画

一光栅位移传感器（三）光栅传感器的应用长度计

一光栅位移传感器光栅传感器的应用长度计

一光栅位移传感器计量和生产控制位置测量

一光栅位移传感器数控机床位置控制框图

一光栅位移传感器防护罩内为直线光栅光栅扫描头被加工工件切