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半导体设备维护智能化升级关键技术白皮书.docx

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    半导体设备维护智能化升级关键技术白皮书模板

    一、：半导体设备维护智能化升级关键技术白皮书

    1.1引言

    1.2行业背景

    1.3智能化升级的意义

    1.4技术路线

    二、半导体设备维护智能化升级的关键技术

    2.1数据采集与处理技术

    2.1.1传感器技术

    2.1.2数据采集系统

    2.1.3数据处理算法

    2.2故障诊断与预测技术

    2.2.1基于知识的诊断

    2.2.2基于模型的诊断

    2.2.3基于数据的诊断

    2.3维护策略优化技术

    2.3.1预防性维护

    2.3.2预测性维护

    2.3.3基于状态的维护

    2.4远程维护与监控技术

    2.4.1远程数据传输

    2.4.2远程控制

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