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2025年中国半导体扩散设备行业市场现状调研及投资决策建议报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、行业发展背景及技术演进分析 3
1.半导体扩散设备定义及工艺分类 3
高温扩散与快速热处理(RTP)技术对比 3
掺杂工艺在28nm/14nm/7nm制程中的应用差异 5
2.技术发展脉络与突破节点 7
国产氧化扩散设备技术路线图谱 7
年国产化率突破关键时间窗 9
二、市场现状与竞争格局解析 11
1.市场规模及增长动力 11
年市场规模CAGR预测 11
英寸晶圆厂扩产带来的增量需求 13
2.竞争主体多维分析
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