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CN120210963A 一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺.docxVIP

CN120210963A 一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺.docx

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120210963A(43)申请公布日2025.06.27

    (21)申请号202510694508.4

    (22)申请日2025.05.28

    (71)申请人龙门实验室

    地址471000河南省洛阳市伊滨区科技大

    道1号

    (72)发明人王新昌崔彩霞贾倩琳

    (74)专利代理机构洛阳东都知识产权代理事务所(普通合伙)33495

    专利代理师魏国良

    (51)Int.CI.

    C30B33/10(2006.01)

    C30B29/06(2006

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