《传感器技术》课件——第6章 压电式传感器.pptVIP

*6.4.3声表面波传感器声表面波简称SAW，是英国物理学家瑞利于19世纪末期在研究地震波的过程中发现的一种集中在地表面传播的声波，后来发现在任何固体表面都存在这种现象。SAW是沿弹性体表面传播的弹性波，是一种机械波，在SAW传感器中通过叉指换能器激励产生。当在发射叉指换能器上施加适当频率的交流电信号，在压电基片内部的电场使基片发生逆压电效应，指条电极间的材料发生形变，使质点发生位移。SAW传感器的关键是SAW谐振器，有延迟线型和振子型两种型式。由压电材料基片和沉积在基片上不同功能的叉指换能器及金属栅条式反射器所组成*图6-26叉指换能器结构示意图图6-27压电基片内部电场示意图a)延迟线型振荡器b)振子型振荡器图6-28SAW谐振器结构示意图*SAW传感器的应用声表面波谐振器可用来做成测量各种物理量和化学量的传感器，典型的有SAW温度传感器、SAW应变传感器、SAW压力传感器、SAW加速度传感器、SAW气体传感器、SAW流量传感器、SAW湿度传感器等。图6-29SAW气敏传感器结构示意图图6-30SAW压力传感器结构示意图中国计量学院计量测试工程学院**6.1.4压电元件常用结构形式压电元件承受机械应力作用时，具有能量转换作用的变形方式有厚度变形（TE方式）、长度变形（LE方式）、面剪切变形（FS方式）、体积变形（VE方式）和厚度剪切变形（TS方式）等几种形式，如图6-7所示。目前最常使用的是厚度变形的压缩式和剪切变形的剪切式两种。**压电元件在实际使用中，如仅用单片压电片工作的话，要产生足够的表面电荷需要有足够的作用力。当测量力较小时（例如测量粗糙度或微压差时），可采用两片或两片以上的压电片组合一起使用，以提高输出灵敏度。由于压电材料是有极性的，因此有串联和并联两种接法，如图6-8所示。*压电元件两电极间的压电陶瓷或石英为绝缘体，因此构成一电容器，电容量C、两极板间电压U和表面电荷量Q之间关系如式（6-15）所示：当两压电元件并联连接，是将相同极性端连接在一起，总电容量C′、总电压U′、总电荷Q′与单片的C、U、Q关系为当两压电元件串联连接，是将不同极性端连接在一起，总电容量C′、总电压U′、总电荷Q′与单片的C、U、Q关系为可见，并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的地方；串联接法输出电压大，本身电容小，适宜用于以电压作输出信号，且测量电路输入阻抗很高的地方。（6-15）（6-16）（6-17）*6.2等效电路与测量电路6.2.1等效电路压电式传感器对被测量的感受程度是通过其压电元件产生电荷量大小来反映的，因此它相当于一个电荷源，而压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为(6-18)*式中：S——压电片的面积；d——压电片的厚度；εr——压电材料的相对介电常数。当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压（认为其负载电阻为无限大）U为：（6-19）*因此，压电元件可以等效为一个电荷源和一个电容器并联的电路，也可以等效为一个电压源和一个电容器串联的电路，如图6-9所示，点划线框内即为压电元件部分，其中Ra为压电元件漏电阻。利用压电式传感器进行测量时，要与测量电路相连接，应考虑电缆电容Cc，放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci，从而可以得到压电传感器的完整等效电路。图6-9压电元件等效电路*对应压电元件的两种等效电路形式，压电式传感器的灵敏度有电压灵敏度Ku和电荷灵敏度Kq两种，分别表示单位应力产生的电压和单位应力产生的电荷，即：且电压灵敏度Ku与电荷灵敏度Kq之间的关系为：（6-20）（6-21）（6-22）*6.2.2测量电路压电传感器产生的电荷很少，信号微弱，而自身又要有极高的绝缘电阻，以防止电荷迅速泄漏引起测量误差，因此压电元件后续测量电路需要接入前置放大器*前置放大器的作用：放大压电传感器的微弱输出信号把传感器的高阻抗输出变换成低阻抗输出。前置放大器的形式：电压放大器：输出电压与输入电压（压电元件的输出电压）成正比。电荷放大器：输出电压与输入电荷成正比。*图6-10电压放大器的等效电路图1.电压放大器